真空除氧器主要由除氧器（除氧塔與除氧水箱），羅旋水噴射真空泵機組、引水泵機組等三部分設備組成。
1、真空除氧器除氧塔
　　除氧塔內裝有銅制作霧化噴頭，每只噴頭處理水量恒定，從而得到適合的噴霧效果。塔內裝有填料層、傳質塊，親水性能好。霧化的結果大大增加了水的脫氣面積，當霧化的水滴繼續流經無規則堆放的填料層時，進一步加強了脫氣效果。因此，雖然水在脫氣塔內停留的時間很短，然而除氧效果很好。
2、真空除氧器除氧水箱
　　除氧器運行時，水箱內處于負壓。因此在高位安裝時，水箱出口處與鍋爐給水泵進口之間的凈距離不得小于11米。在低位安裝時（水箱出水口與鍋爐給水泵在同一高度），水箱出水口要接上引水泵機組，使負壓水升壓后進入鍋爐給水泵，水箱上裝有人孔，便于維修保養時使用。
3、水噴射真空泵機組
　　真空除氧器泵組由水噴射真空泵、循環水箱、離心泵組成。離心泵將循環水通過噴嘴造成高速水流而產生真空。本水噴射真空除氧裝置可利用軟化兼作循環水，溫度不會升高，因而可得到較高的真空度，提高除氧效果。方法是利用原有的軟化水水箱兼作循環水箱，節約設備及占地面積。
4、引水泵機組
　　在除氧器低位安裝時使用，通過該泵將負壓的除氧水升壓后進入鍋爐給水泵。